清潔度測(cè)定方法對(duì)過程控制、品質(zhì)保證和失效分析非常重要，是概括用于獲得有關(guān)測(cè)定主體如各種機(jī)械設(shè)備、電子零件等清潔度數(shù)據(jù)的詳細(xì)過程。
　　檢測(cè)清潔度時(shí)對(duì)取樣有要求，取樣的基本要求決定于樣品的數(shù)量和取樣位置。零件體積越大、表面積越大、清潔度偏低，則樣品數(shù)量相應(yīng)減少。應(yīng)該從生產(chǎn)中隨機(jī)抽取零件，并且采樣過程和后面的檢查過程中不能造成零件的污染。檢測(cè)清潔度時(shí)，一要環(huán)境清潔，其清潔程度應(yīng)與檢測(cè)的要求相適應(yīng)；二要檢測(cè)人員的衣帽和雙手清潔；三要所用器具也必須清潔。
　　目前，在我國(guó)航空航天部、機(jī)械部、鐵道部等已報(bào)批核準(zhǔn)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及具體要求的是常用的配對(duì)稱重法。
　　清潔度的測(cè)定方法很多，主要有如下幾種：
　　1.目視檢查法
　　目視檢查法即由人工直接用眼睛在顯微鏡下對(duì)零件可以看到的外表面或內(nèi)腔表面進(jìn)行檢查。調(diào)節(jié)顯微鏡的照明亮度和放大倍數(shù)，人工可以判斷污染顆粒是金屬、非金屬、或纖維以及尺寸大小。目測(cè)法可以檢查殘留在零件表面的比較大而明顯的顆粒、斑點(diǎn)、銹斑等污染，但檢查的結(jié)果與人為的因素關(guān)系很大。
　　2.稱重法
　　稱重法是工業(yè)生產(chǎn)和試驗(yàn)中常用的清潔度測(cè)定方法。其測(cè)定原理是將一定數(shù)量的試樣在一定的條件下進(jìn)行清洗，然后將清洗的液體通過濾膜充分過濾，污物被收集在經(jīng)過干燥的濾膜表面，將濾膜再次充分干燥，根據(jù)分析天平稱出過濾清洗前后干燥的濾膜質(zhì)量，計(jì)算其增加值即為試樣品上的固體顆粒污染物的質(zhì)量。
　　3.接觸角法
　　所謂接觸角，就是液體在固體表面形成熱力學(xué)平衡時(shí)所持有的角。對(duì)固體和液體之間形成的接觸角的測(cè)量，是在表面處理及聚合體表面分析等眾多類似領(lǐng)域廣為知曉的分析技術(shù)，是對(duì)多個(gè)單位的單層變化十分敏感的表面分析技術(shù)。測(cè)量液滴在固體表面的接觸角來評(píng)估表面的可濕潤(rùn)特性。如果液滴可濕潤(rùn)表面，則接觸角小，反之液滴不能濕潤(rùn)表面，而在表面傾向于形成圓珠或氣泡，則接觸角大。這就是“水膜殘跡"測(cè)試的原理。接觸角大，表示表面被憎水性的污物（油/脂等）污染，反之，接觸角小，液滴破裂或攤薄，表示該表面清潔。這種測(cè)試方法受人為因素影響也很大，而且這種方法對(duì)非常輕小或分散的污物不易識(shí)別。尤其是有些特殊材料（如PTFE塑料）即使表面很清潔，對(duì)大多數(shù)液體的接觸角也很大。所以，接觸角法不適合對(duì)某些關(guān)鍵重要的表面清潔度測(cè)試。
　　4.熒光發(fā)光法
　　在許多情況下，可以利用紫外線來檢測(cè)零件表面的清潔度。在紫外線的照射下，表面的污染物顆粒會(huì)發(fā)出熒光。因?yàn)樽贤饩€的能量被污物吸收，污物顆粒電子被激化并躍進(jìn)到高能級(jí)的電子層，處于高能級(jí)的不穩(wěn)定的電子隨即會(huì)返回原低能級(jí)電子層，在此過程中原來吸收的能量以發(fā)熱發(fā)光的形式釋放出來——熒光。這種激活釋放的頻率達(dá)每秒幾千次，所以在紫外線下的熒光不是閃爍的而是持續(xù)穩(wěn)定的，根據(jù)發(fā)熒光即可目測(cè)污物在零件表面的位置，熒光強(qiáng)度也是可以應(yīng)用信號(hào)檢測(cè)儀器測(cè)定從而表示表面被污染的程度。但如果要識(shí)別污染物的成分等特性，必須借助其他分析法。
　　5.顆粒尺寸數(shù)量法
　　這是一種零件清潔度測(cè)定的新方法。其基本原理是根據(jù)被檢測(cè)的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率。其測(cè)試方法是，將一定數(shù)量的零件在一定的條件下清洗，將清洗液通過的濾膜充分過濾，污物被收集在濾膜表面，然后將濾膜干燥，用顯微鏡（*設(shè)備是具有拍攝功能的圖像識(shí)別和分析設(shè)備）在光照射下檢測(cè)，按顆粒尺寸和數(shù)量統(tǒng)計(jì)污物顆粒，即可得到所測(cè)物體零件的固體顆粒污染物結(jié)果。這是一種適合精密清洗定量化的清潔度檢測(cè)方法，尤其使用于檢測(cè)微小顆粒和帶色雜質(zhì)顆粒。但是如果濾膜是白色的，那么對(duì)白色污物和氣泡的識(shí)別就有可能引起誤判。
　　顆粒尺寸數(shù)量法極限值：對(duì)特定規(guī)格的零件，規(guī)定一定樣品數(shù)量、檢查頻率、清洗介質(zhì)、清洗參數(shù)和操作過程的情況下，將顆粒按尺寸大小統(tǒng)計(jì)，每個(gè)尺寸范圍分別規(guī)定準(zhǔn)許的大顆粒數(shù)量，只要有某一項(xiàng)超標(biāo)，則測(cè)試結(jié)論為不合格。
　　6.重量法
　　重量法是工業(yè)生產(chǎn)和試驗(yàn)中常用的清潔度測(cè)定方法。其測(cè)定原理是將一定數(shù)量的試樣在一定的條件下進(jìn)行清洗，然后將清洗的液體通過濾膜充分過濾，污物被收集在經(jīng)過干燥的濾膜表面，將濾膜再次充分干燥，根據(jù)分析天平稱出過濾清洗前后干燥的濾膜質(zhì)量，計(jì)算其增加值即為試樣品上的固體顆粒污染物的質(zhì)量。
　　重量法典型限值：對(duì)特定規(guī)格的零件，規(guī)定一定樣品數(shù)量、檢查頻率、清洗介質(zhì)、清洗和過濾方法的情況下準(zhǔn)許的大殘留污物的重量，單位為mg或ug。